高通量自主干法蒸镀工作站
MatX-Evap
五合一镀膜，一次成型。
在同一真空腔体里连续完成热蒸镀、磁控溅射、原子层沉积，翻面与电极清边一气呵成——不破真空、不搬样品，一次做出一批高质量复合薄膜。
硬核参数，一目了然。
3合1
工艺集成
热蒸镀 · 磁控溅射 · ALD
≥500
pcs / 天
单日制备通量
≤3%
膜厚偏差
高均匀性
≤10s
翻片速度
高效流转
10−6
Torr
高真空环境
一台机器，
五道工序。
把热蒸镀、磁控溅射、ALD 原子层沉积集成进同一台设备，多种功能层在一次流程里逐层叠加，像叠三明治一样连续成膜。
热蒸镀Evaporation
→
磁控溅射Sputtering
→
ALD原子层沉积
不破真空，
连续成膜。
翻面、电极清边等立体工艺全部在腔体内完成，无需反复破除真空来回转移样品。更少的人工介入，更高的重复性，更稳定的批次质量。
10−6
Torr 高真空 · 全过程数据自动记录
装进手套箱，
随处开工。
系统结构灵活，可直接安装于手套箱中，适配对氛围敏感的惰性气体工艺，让高通量镀膜融入你现有的实验流程。
与 MatX-Solup
打通全流程。
与湿法制膜工作站 MatX-Solup 系列配合使用，湿法薄膜、金属电极、有机材料层一体化整合，获得完整的自动化高通量材料制备能力。
MatX-Solup湿法制膜
+
MatX-Evap干法蒸镀
=
完整器件自动化闭环
为这些场景而生。
功能层的蒸镀与封装，皆可胜任。
☀️
光伏
钙钛矿/叠层电池功能层与电极
📡
光电探测器
高精度功能层沉积与封装
💡
LED
多层薄膜连续制备
让实验，跑得更快。
想了解 MatX-Evap 如何融入你的研发流程？